1、X向橫梁：采用精密斜梁技術2、Y向導軌：采用獨特的直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構3導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環抱式靜壓氣浮導軌4、驅動系統：采用本產高性能DC直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳5、Z向主軸：可調節的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度6控制系統：采用進口的雙計算機三座標專用控制系統7、機器系統：采用計算機輔助3D誤差修正技術（CAA），保證系統的長期的穩定性和高精度。8、測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯機功能
規格
測量范圍（㎜）
外形尺寸（㎜）
測量精度
*大載重（ Kg ）
整機重量（ Kg ）
X
Y
Z
空間示值誤差
MPE E （ μm ）
探測誤差
MPE P （ μm ）
CMF575
500
700
1150
1320
2570
2.8+L ／ 250
3.2
1500
CMF8107
800
1000
1450
1900
3000
3.2 +L/250
3.5
2400
CMF8157
1200
CMF10128
1650
2100
3250
3.5 ﹢ L ／ 250
3.8
2900
CMF10158
1350
3300
CMF10208
2000
4200
CMF12158
1850
4.2 ﹢ L ／ 250
4.5
1400
3800
CMF12208
1600
4500
CMF101510
3700
3500
CMF102010
4300