真空泵系統的主泵選擇

真空泵系統的主泵選擇，主泵類型的確定

(1)根據真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數量級。

(2)根據真空室進行工藝生產時所需要的工作壓力選主泵。應正確地選擇主泵的工作點，在其工作壓力范圍內，應能排除真空室內工藝過程中產生的全部氣體量。因此，真空室內的工作壓力一定要在主泵的*佳抽速壓力范圍之內。

(3)根據真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選主泵。真空室體積大小對系統抽到極限真空的時間有影響。當抽氣時間要求一定時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

(4)正確地組合真空泵，由于真空泵有選擇性地抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

(5)若真空系統嚴格要求無油時，則應該選各種無油泵作主泵。如果要求不嚴格，則可選擇有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

(6)選擇真空泵時，應該知道被抽氣體成分，針對被抽氣體成分選擇相應的泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆?；覊m等，則應該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等?；蛟诒玫倪M氣口管道上安裝輔助設備。

(7)根據整套真空系統的初次投資和日常維護費用等經濟指標選擇主泵。

真空泵系統的主泵選擇